| 国家/地区 | 日本(2) |
| IPC部 | C(2) |
| IPC大类 | C01(2) C23(2) |
| IPC小类 | C01B(2) C23C(2) |
| IPC |
C01B032/186(2)
C23C014/06(2)
C23C016/26(2)
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| 发明人 |
TANG S(2)
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| 公开年 | |
| 申请年 |
2015(2)
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| 专利权人 |
SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(2)
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WANG H, TANG S, LU G, WU T, JIANG D, DING G, ZHANG X, XIE H, XIE X, JIANG M
HE L, JIANG M, LI L, XIE X, TANG S, ZHANG D, XIE H, WANG H, CHEN L
