国家/地区 中国(2)
IPC部 C(2)
IPC大类 C23(2)
IPC小类 C23C(2)
IPC C23C014/18(2) C23C014/30(2) C23C014/35(2)
C23C014/48(2) C23C014/58(2) C23C016/26(2)
C23C028/00(2)
发明人 ZHENG P(2)
公开年 2018(2)
申请年 2018(2) 
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(2)