| 国家/地区 | 中国(2) |
| IPC部 | C(2) |
| IPC大类 | C23(2) |
| IPC小类 | C23C(2) |
| IPC |
C23C014/18(2)
C23C014/30(2)
C23C014/35(2)
C23C014/48(2) C23C014/58(2) C23C016/26(2) C23C028/00(2) |
| 发明人 |
ZHENG P(2)
|
| 公开年 | 2018(2) |
| 申请年 | 2018(2) |
| 专利权人 |
SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(2)
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DI Z, ZHENG P, DONG L, XUE Z
