国家/地区 中国(3)
IPC部 B(3) C(3)
IPC大类 B82(3) C01(3) C23(3)
C30(2)
IPC小类 B82Y(3) C01B(3) C23C(3)
C30B(2)
IPC B82Y040/00(3) C01B031/04(3) B82Y030/00(2)
C23C016/02(2) C23C016/26(2)
发明人 DING G(3) XIE X(3) JIANG M(2)
TANG S(2)
公开年 2012(3)
申请年 2011(2) 
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(3)