| 国家/地区 | 中国(5) |
| IPC部 | C(5) |
| IPC大类 |
C01(2)
C03(2)
C23(2)
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| IPC小类 | C01B(2) C23C(2) |
| IPC | C23C016/26(2) |
| 发明人 |
HU S(5)
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| 公开年 |
2017(5)
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| 申请年 | 2016(5) |
| 专利权人 |
SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(5)
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ZHANG Y, YU G, CHEN Z, SUI Y, GE X, DENG R, LIANG Y, HU S
CHEN Z, YU G, ZHANG Y, SUI Y, GE X, HU S, LIANG Y
YU G, ZHANG Y, SUI Y, CHEN Z, DENG R, GE X, LIANG Y, HU S
ZHANG Y, YU G, CHEN Z, SUI Y, GE X, DENG R, LIANG Y, HU S
