国家/地区 中国（2）
IPC部 C（2） G（2）
IPC大类 C01（2） C23（2） G01（2）
IPC小类 C01B（2） C23C（2） G01N（2）
IPC
发明人
公开年 2017（2）
申请年
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION（2）

Graphene boundary control method comprises providing an insulating substrate, placing in a growth chamber, introducing first reaction gas and controlling the flowrate of first reaction gas.

WANG H, CHEN L, HE L, XIE H, WANG X, XIE X

Manufacture of gas sensor for nitrogen oxide, involves placing microheater platform substrate having graphene-covered surface, to chemical vapor deposition reactor, injecting inert gas, hydrogen and sulfur source gas, reacting and cooling.

LI T, GUO L, LIANG C, WANG Y