国家/地区 日本（2） 韩国（2） 美国（2） 世界知识产权组织（2）
IPC部 C（2） H（2）
IPC大类 H01（2）
IPC小类 H01L（2）
IPC
发明人 MATSUMOTO T（2）
公开年
申请年 2013（2）
专利权人 TOKYO ELECTRON LTD（2）

Organic-semiconductor film used for channel in transistor structure, has pseudo graphene structure including two-dimensional network structure which is formed continuously.

KAGAYA M, MATSUMOTO T, KATO D, KATO T

Processing of graphene used for manufacture of graphene nanoribbons, involves irradiating ion beam to graphene using gas cluster ion beam apparatus, forming cluster and etching.

MATSUMOTO TAKASHI, MATSUMOTO T