国家/地区 中国(3)
IPC部 C(3) G(3) B(2)
IPC大类 C23(3) G01(3) B82(2)
IPC小类 C23C(3) G01N(3) B82Y(2)
IPC G01N021/65(3) B82Y030/00(2) B82Y040/00(2)
C23C014/16(2) C23C014/30(2) C23C014/35(2)
发明人 SHI G(3)
公开年
申请年 2020(2) 
专利权人 UNIV CHANGCHUN SCI TECHNOLOGY(3)