国家/地区 中国(5)
IPC部 C(5) B(2) H(2)
IPC大类 C23(5)
IPC小类 C23C(4) B82Y(2) H01J(2)
IPC B82Y030/00(2) C23C016/30(2) H01J001/304(2)
发明人 LI K(2) LI Z(2) SONG G(2)
公开年 2016(2)
申请年 2016(3) 
专利权人 UNIV QINGDAO SCI TECHNOLOGY(5)