国家/地区 中国(3)
IPC部 C(3)
IPC大类 H01(3) B82(2) C23(2)
IPC小类 H01J(3)
IPC H01J001/304(3) B82Y030/00(2) C23C016/30(2)
发明人 LI Z(3) SONG G(3) LI K(2)
MENG A(2)
公开年 2016(2)
申请年 2016(2) 
专利权人 UNIV QINGDAO SCI TECHNOLOGY(3)