| 国家/地区 | 中国(3) |
| IPC部 |
C(3)
|
| IPC大类 |
H01(3)
B82(2)
C23(2)
|
| IPC小类 |
H01J(3)
|
| IPC |
H01J001/304(3)
B82Y030/00(2)
C23C016/30(2)
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| 发明人 |
LI Z(3)
SONG G(3)
LI K(2)
MENG A(2) |
| 公开年 | 2016(2) |
| 申请年 | 2016(2) |
| 专利权人 |
UNIV QINGDAO SCI TECHNOLOGY(3)
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SONG G, LI Z, ZHANG J, LUO S, MENG A
