国家/地区 | 中国(3) |
IPC部 |
C(3)![]() |
IPC大类 |
H01(3)
B82(2)
C23(2)
|
IPC小类 |
H01J(3)![]() |
IPC |
H01J001/304(3)
B82Y030/00(2)
C23C016/30(2)
|
发明人 |
LI Z(3)
SONG G(3)
LI K(2)
MENG A(2) |
公开年 | 2016(2) |
申请年 | 2016(2) |
专利权人 |
UNIV QINGDAO SCI TECHNOLOGY(3)![]() |
SONG G, LI Z, ZHANG J, LUO S, MENG A