国家/地区 中国(3)
IPC部 C(3) H(2)
IPC大类 C23(2) H01(2)
IPC小类 C23C(2) H01L(2)
IPC H01L031/18(2)
发明人 LI Z(3)
公开年 2023(2)
申请年 2022(2) 
专利权人 UNIV XIAN POLYTECHNIC(3)