| 国家/地区 | 中国(3) |
| IPC部 | C(3) H(2) |
| IPC大类 | C23(2) H01(2) |
| IPC小类 | C23C(2) H01L(2) |
| IPC | H01L031/18(2) |
| 发明人 |
LI Z(3)
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| 公开年 | 2023(2) |
| 申请年 | 2022(2) |
| 专利权人 |
UNIV XIAN POLYTECHNIC(3)
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LIN S, HU J, ZANG Y, CAO D, SONG L, XIA C, ZHANG G, LI Z, WANG R, GONG J, DING B, LI L
LIN S, HU J, ZANG Y, ZHANG G, XIA C, WANG T, LI Z, LI H, ZENG T, LI L
LI L, ZANG Y, CHEN H, HU J, LIN S, ZHANG G, PU H, FENG X, SONG L, TU Z, LI Z, XU Y, WANG R
