国家/地区 美国(10) 世界知识产权组织(2)
IPC部 H(6) G(3) B(2)
C(2)
IPC大类 H01(5) C01(2) G01(2)
H05(2)
IPC小类 H01L(3) C01B(2) G01N(2)
IPC C01B032/194(2) H01L021/02(2) H01L021/04(2)
H01L029/16(2) H01L029/66(2) H01L029/88(2)
H01L043/02(2) H01L043/10(2) H01L043/12(2)
发明人 LOCK E H(3) FRIEDMAN A L(2) GASKILL D K(2)
JONKER B T(2) LERNER M B(2) MYERSWARD R L(2)
ROBINSON J T(2) VAN T E O M J(2) WHITENER K E(2)
公开年 2018(10)
申请年 2018(5)  2017(4) 
专利权人 US SEC OF NAVY(10)