国家/地区 韩国(2)
IPC部 C(2) H(2)
IPC大类 C01(2) H01(2)
IPC小类 C01B(2) H01L(2)
IPC C01B031/02(2) H01L021/02(2) H01L029/16(2)
发明人 LEE D W(2) SHIN H(2) SHIN H J(2)
WOO Y(2) WOO Y S(2)
公开年 2014(2)
申请年 2013(2) 
专利权人 WOO Y(2)

LEE D W, SHIN H, PARK S, BYUN K, SEO D, SONG H, WOO Y, LEE J, CHUNG H, HEO J, SHIN H J, PARK S J, BYUN K E, SONG H J, WOO Y S, LEE J H, CHUNG H J, HEO J S