国家/地区 中国(5)
IPC部 H(3) B(2)
IPC大类 H01(3)
IPC小类 H01L(3)
IPC H01L031/0352(2)
发明人 CAO Y(5)
公开年 2022(3)
申请年 2022(3)  2019(2) 
专利权人 YANGZHOU POLYTECHNIC INST(5)