国家/地区 中国(2)
IPC部 H(2)
IPC大类 H01(2)
IPC小类 H01L(2)
IPC H01L031/18(2)
发明人 CHEN X(2) SHAN D(2)
公开年 2018(2)
申请年 2018(2) 
专利权人 YANGZHOU POLYTECHNIC INST(2)