| 国家/地区 | 中国(4) 美国(2) |
| IPC部 |
B(4)
C(4)
H(2)
|
| IPC大类 |
C01(3)
C23(3)
B07(2)
B82(2) C04(2) H01(2) |
| IPC小类 |
C01B(3)
C23C(3)
B07B(2)
B82Y(2) C04B(2) H01L(2) |
| IPC |
B82Y030/00(2)
B82Y040/00(2)
C01B032/184(2)
C04B035/583(2) C04B035/622(2) C04B035/653(2) C23C014/06(2) H01L021/02(2) |
| 发明人 |
YU C(5)
HU S C(2)
LIN I(2)
SUNG C(2) |
| 公开年 | 2021(3) |
| 申请年 | 2021(2) |
| 专利权人 |
YU C(5)
|
SUNG C, HU S C, LIN I, YU C
