国家/地区 中国(4) 美国(2)
IPC部 B(4) C(4) H(2)
IPC大类 C01(3) C23(3) B07(2)
B82(2) C04(2) H01(2)
IPC小类 C01B(3) C23C(3) B07B(2)
B82Y(2) C04B(2) H01L(2)
IPC B82Y030/00(2) B82Y040/00(2) C01B032/184(2)
C04B035/583(2) C04B035/622(2) C04B035/653(2)
C23C014/06(2) H01L021/02(2)
发明人 YU C(5) HU S C(2) LIN I(2)
SUNG C(2)
公开年 2021(3)
申请年 2021(2) 
专利权人 YU C(5)