| 国家/地区 | 美国(3) 世界知识产权组织(2) |
| IPC部 | H(3) |
| IPC大类 | H01(3) |
| IPC小类 | H01L(3) |
| IPC | H01L029/16(3) H01L021/02(2) |
| 发明人 | ZHANG Y(3) |
| 公开年 | 2014(3) |
| 申请年 |
2014(3)
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| 专利权人 |
ZHANG Y(3)
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ZHANG Y, TSU R, YUE N
