国家/地区 美国(4) 世界知识产权组织(3)
IPC部 H(4) B(2) C(2)
IPC大类 H01(4) B82(2) C01(2)
IPC小类 H01L(3) B82Y(2) C01B(2)
IPC H01L029/16(3) B82Y030/00(2) B82Y040/00(2)
H01L021/02(2)
发明人 ZHANG Y(4)
公开年 2014(4)
申请年 2014(3) 
专利权人 ZHANG Y(4)