| 国家/地区 | 美国(4) 世界知识产权组织(3) |
| IPC部 |
H(4)
B(2)
C(2)
|
| IPC大类 |
H01(4)
B82(2)
C01(2)
|
| IPC小类 |
H01L(3)
B82Y(2)
C01B(2)
|
| IPC |
H01L029/16(3)
B82Y030/00(2)
B82Y040/00(2)
H01L021/02(2) |
| 发明人 | ZHANG Y(4) |
| 公开年 |
2014(4)
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| 申请年 | 2014(3) |
| 专利权人 |
ZHANG Y(4)
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ZHANG Y, TSU R, YUE N
