国家/地区 韩国(3) 美国(3)
IPC部 H(3) B(2) C(2)
IPC大类 C23(2) H01(2)
IPC小类 C23C(2) H01L(2)
IPC H01L021/02(2) H01L029/16(2) H01L029/786(2)
发明人 AHN J(3)
公开年 2014(2)
申请年 2013(3)
专利权人 UNIV SUNGKYU.(3) AHN J(2) SAMSUNG ELEC.(2)