| 国家/地区 | 韩国(3) 美国(3) |
| IPC部 |
H(3)
B(2)
C(2)
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| IPC大类 | C23(2) H01(2) |
| IPC小类 | C23C(2) H01L(2) |
| IPC |
H01L021/02(2)
H01L029/16(2)
H01L029/786(2)
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| 发明人 |
AHN J(3)
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| 公开年 | 2014(2) |
| 申请年 |
2013(3)
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| 专利权人 | UNIV SUNGKYU.(3) AHN J(2) SAMSUNG ELEC.(2) |
AHN J, SHIN H, SONG I, AHN J R, SHIN H C, SONG I K
AHN J, SEO J, PARK J, JEON C, AHN J R, JEON C H, PARK J H, SEO J T
