国家/地区 欧洲专利局(EPO)(6) 世界知识产权组织(6) 美国(4) 中国(2) 越南(2)
IPC部 G(6) H(6) C(2)
IPC大类 H01(6) G01(5) C01(2)
IPC小类 H01L(6) C01B(2) G01J(2)
G01T(2)
IPC H01L031/112(4) H01L031/028(3) H01L031/0352(3)
G01T001/20(2) H01L027/144(2) H01L027/146(2)
H01L029/786(2) H01L031/0224(2) H01L031/0232(2)
发明人 ALLEN M(7)
公开年 2017(5)
申请年 2016(4) 
专利权人 NOKIA TECHNO.(6) NOKIA CORP(2)