国家/地区 中国(4)
IPC部 C(3) G(2) H(2)
IPC大类 C23(3) G06(2) H01(2)
IPC小类 C23C(3) G06F(2) H01L(2)
IPC C23C014/24(3) G06F003/041(2) H01L027/12(2)
H01L029/43(2)
发明人 BAI F(4)
公开年 2015(4)
申请年 2014(2)  2015(2) 
专利权人 BEIJING BOE .(4) BEIJING BOE .(4) BOE TECHNOLO.(4)