国家/地区 台湾(2) 美国(2)
IPC部 C(4) H(4)
IPC大类 H01(4) C23(2)
IPC小类 C23C(2) H01L(2)
IPC
发明人 CHANG C(5)
公开年 2016(2) 2017(2)
申请年 2016(5)
专利权人