| 国家/地区 | 台湾(2) 美国(2) |
| IPC部 | C(4) H(4) |
| IPC大类 | H01(4) C23(2) |
| IPC小类 | C23C(2) H01L(2) |
| IPC | |
| 发明人 |
CHANG C(5)
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| 公开年 | 2016(2) 2017(2) |
| 申请年 |
2016(5)
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| 专利权人 |
JANG B Z, ZHAMU A, TSAI F, SU D, HSU C, FANG G, LIU H, MENG F, CHANG C
HSU C, CHANG C
HUNG W, CHANG C
CHANG C, DU Y, CHEN X, GUO Q, FENG P, XIAO P, GUAN L
