国家/地区 台湾(7)
IPC部 H(4) G(3) C(2)
IPC大类 H01(4) C01(2)
IPC小类 H01L(3) C01B(2)
IPC C01B032/184(2)
发明人 CHANG J(7)
公开年 2022(4)
申请年 2021(3) 
专利权人 TEAM GROUP I.(2)