国家/地区 韩国(2) 美国(2)
IPC部 B(2) C(2) H(2)
IPC大类 B01(2) C01(2) H01(2)
IPC小类 B01J(2) C01B(2) H01L(2)
IPC C01B031/04(2) H01L021/02(2) H01L029/16(2)
H01L029/786(2) H01L051/52(2)
发明人 CHO S M(2)
公开年 2017(2)
申请年 2016(2) 
专利权人 HANWHA TECHW.(2)