国家/地区 韩国(7)
IPC部 B(4) C(4) G(3)
H(3)
IPC大类 C01(4) G01(3) H01(3)
B82(2) C23(2)
IPC小类 C01B(4) G01N(3) H01L(3)
B82Y(2) C23C(2)
IPC G01N027/414(3) H01L029/16(3) B82Y040/00(2)
C01B031/02(2) C01B031/04(2) C01B032/194(2)
G01N027/30(2) H01L021/02(2)
发明人 CHO S M(7)
公开年 2022(2) 2023(2)
申请年 2021(3)  2020(2) 
专利权人 MCK TECH CO .(5) HANWHA TECHW.(2) KUMOH NAT IN.(2)