国家/地区 美国(6)
IPC部 C(4) H(3) B(2)
IPC大类 C01(3) H01(3) C23(2)
IPC小类 C01B(3) C23C(2) H01L(2)
IPC C01B031/02(2) C01B031/04(2)
发明人 CHOI M(6)
公开年 2014(3)
申请年 2014(3) 
专利权人 LG ELECTRONI.(3)