| 国家/地区 | 中国(16) |
| IPC部 |
C(10)
B(5)
H(3)
A(2) |
| IPC大类 |
C23(4)
C01(3)
H01(3)
A61(2) B01(2) C03(2) |
| IPC小类 |
C23C(4)
C01B(3)
B01D(2)
H01L(2) |
| IPC | C23C016/02(3) C23C016/26(3) |
| 发明人 |
DENG R(16)
|
| 公开年 | 2017(7) 2021(4) 2018(2) 2022(2) |
| 申请年 | 2016(4) 2015(3) 2021(3) 2022(2) |
| 专利权人 | SHANGHAI INS.(7) |
SUN Y, DENG R, PENG J, JIANG D, DAI X, LIANG H, QIAN Z
DENG R, LI L, LI X, GAO X
XIA D, SHAO Y, JIAO Y, DENG R, DING X
ZHAO L, HU M, WANG P, DENG R, WU X, ZHANG H
LAN D, LI D, YI B, SHEN J, DENG R, CHEN Z, WU S, OU Z
ZHANG Y, YU G, CHEN Z, SUI Y, GE X, DENG R, LIANG Y, HU S
