国家/地区 中国(16)
IPC部 C(10) B(5) H(3)
A(2)
IPC大类 C23(4) C01(3) H01(3)
A61(2) B01(2) C03(2)
IPC小类 C23C(4) C01B(3) B01D(2)
H01L(2)
IPC C23C016/02(3) C23C016/26(3)
发明人 DENG R(16)
公开年 2017(7) 2021(4) 2018(2) 2022(2)
申请年 2016(4)  2015(3)  2021(3)  2022(2) 
专利权人 SHANGHAI INS.(7)