| 国家/地区 | 美国(3) |
| IPC部 | H(3) B(2) |
| IPC大类 | H01(3) B82(2) |
| IPC小类 | H01L(3) B82Y(2) |
| IPC |
B82Y040/00(2)
H01L021/02(2)
H01L029/06(2)
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| 发明人 |
ENGEL M(3)
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| 公开年 | |
| 申请年 | |
| 专利权人 | INT BUSINESS.(3) KARLSRUHE IN.(2) TAIWAN BLUES.(2) |
ENGEL M, NEUMANN B F R, STEINER M
AVOURIS P, DIMITRAKOPOULOS C, FARMER D B, STEINER M B, ENGEL M, KRUPKE R, LIN Y
AVOURIS P, DIMITRAKOPOULOS C, FARMER D B, STEINER M B, ENGEL M, KRUPKE R, LIN Y
