国家/地区 美国(3)
IPC部 H(3) B(2)
IPC大类 H01(3) B82(2)
IPC小类 H01L(3) B82Y(2)
IPC B82Y040/00(2) H01L021/02(2) H01L029/06(2)
发明人 ENGEL M(3)
公开年
申请年
专利权人 INT BUSINESS.(3) KARLSRUHE IN.(2) TAIWAN BLUES.(2)