国家/地区 韩国（2）
IPC部 C（2） H（2）
IPC大类 H01（2） H05（2）
IPC小类
IPC
发明人 KIM B S（2）
公开年
申请年 2022（2）
专利权人

Ceramic heater used in semiconductor manufacturing equipment, comprises ceramic substrate comprising aluminum nitride, magnesium oxide/alumina/spinel, calcium oxide and titanium dioxide, and resistance heating element.

KIM Y H, KIM J H, PARK H Y, KIM B S, HWAN K J, SUNG K

Dough-type raw material using two-dimensional material used for manufacturing electronic material, comprises raw material (a) comprising graphene oxide and/or ceramic material, and ethanol.

CHOI J, KIM B S, PARK S Y