国家/地区 韩国（2） 美国（2）
IPC部 H（2）
IPC大类 H01（2）
IPC小类 H01L（2）
IPC H01L021/283（2）
发明人 KIM J E（2）
公开年
申请年 2014（2）
专利权人

Method of fabricating graphene nano device, involves placing first metal mask pattern prepared in advance on first adhesive layer and heating layer to attach first metal mask pattern on substrate.

JEON E K, KANG H S, LIM K, PARK H J, KIM K, KIM J E, KIM Y S, HEO Y S, LIM K S, KIM K S

Making nanostructure involves forming graphene layer, forming block copolymer template layer on graphene layer and precursor pattern of metal coupled to block copolymer template layer, and forming metal nanopattern on graphene layer.

KIM U, KIM J, ROH Y, PARK S, PARK Y, YOO S, LEE C, LEE J, CHEON S, KIM U J, KIM J E, ROH Y G, PARK S J, PARK Y S, YOO S M, LEE C W, LEE J S, CHEON S M