国家/地区 韩国(4)
IPC部 C(3) B(2) H(2)
IPC大类 C23(3) B82(2) C01(2)
H01(2)
IPC小类 C23C(3) B82B(2) C01B(2)
H01L(2)
IPC B82B003/00(2) C01B031/02(2)
发明人 KIM S W(5)
公开年 2013(3) 2012(2)
申请年 2011(5)
专利权人 UNIV SUNGKYU.(3) UNIV SUNGKYU.(2)