国家/地区 韩国(3) 美国(2)
IPC部 B(2) C(2) H(2)
IPC大类 C01(2) H01(2)
IPC小类 C01B(2) H01L(2)
IPC C01B031/04(2) H01L029/16(2) H01L029/786(2)
发明人 KIM S Y(3)
公开年 2017(3)
申请年 2016(2) 
专利权人