国家/地区 韩国(3) 美国(3)
IPC部 H(3)
IPC大类 H01(3)
IPC小类 H01L(2)
IPC H01L051/00(2) H01L051/42(2)
发明人 KIM T W(3)
公开年 2021(3)
申请年 2020(2) 
专利权人 UNIV HANYANG.(2)