国家/地区 日本(4)
IPC部 C(4) H(3)
IPC大类 C01(4) H01(3)
IPC小类 C01B(4) H01L(3)
IPC H01L035/22(3) H01L035/34(3) C01B032/194(2)
发明人 KIRIHARA K(4)
公开年 2021(3)
申请年 2019(2) 
专利权人 NAT INST ADV.(4)