国家/地区 日本(3)
IPC部 C(3) H(2)
IPC大类 C01(3) H01(2)
IPC小类 C01B(3) H01L(2)
IPC C01B032/194(2) H01L035/22(2) H01L035/34(2)
发明人 KIRIHARA K(3)
公开年 2021(3)
申请年 2019(2) 
专利权人 NAT INST ADV.(3)