国家/地区 韩国(3) 美国(3)
IPC部 B(3) C(3) H(3)
IPC大类 C01(3) H01(3) B82(2)
C23(2)
IPC小类 C01B(3) B82Y(2) C23C(2)
H01L(2)
IPC C01B031/04(2) C23C016/26(2)
发明人 LEE E(3)
公开年 2013(2)
申请年 2012(3)
专利权人 SAMSUNG ELEC.(3) UNIV SUNGKYU.(3) UNIV SUNGKYU.(2)