| 国家/地区 | 韩国(3) |
| IPC部 | C(3) H(2) |
| IPC大类 | C23(2) H01(2) |
| IPC小类 | C23C(2) H01L(2) |
| IPC |
C23C016/02(2)
C23C016/26(2)
H01L051/00(2)
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| 发明人 |
LEE E(3)
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| 公开年 | 2020(2) |
| 申请年 | 2019(2) |
| 专利权人 |
POSTECH ACADIND FOUND(3)
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