国家/地区 韩国(3)
IPC部 C(3) H(2)
IPC大类 C23(2) H01(2)
IPC小类 C23C(2) H01L(2)
IPC C23C016/02(2) C23C016/26(2) H01L051/00(2)
发明人 LEE E(3)
公开年 2020(2)
申请年 2019(2) 
专利权人 POSTECH ACADIND FOUND(3)