国家/地区 韩国(3) 美国(3) 中国(2) 欧洲专利局(EPO)(2) 日本(2)
IPC部 B(3) C(3) H(3)
IPC大类 B82(3) H01(3) B32(2)
C01(2) C23(2)
IPC小类 B82Y(3) B32B(2) B82B(2)
C01B(2) C23C(2) H01B(2)
H01L(2)
IPC B32B003/00(2) B32B009/00(2) B82B003/00(2)
B82Y030/00(2) B82Y040/00(2) C01B031/04(2)
C23C016/26(2) H01B001/04(2) H01L021/02(2)
H01L021/20(2)
发明人 LEE E(3)
公开年 2012(3)
申请年 2011(2) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(3)