国家/地区 韩国(3) 世界知识产权组织(2)
IPC部 B(3) C(3) H(3)
IPC大类 H01(3) B01(2) C01(2)
C23(2)
IPC小类 B01J(2) C01B(2) C23C(2)
H01B(2) H01L(2)
IPC B01J019/08(2) C01B031/02(2) C23C016/26(2)
H01L021/268(2)
发明人 LEE K(3)
公开年 2012(2)
申请年 2011(3) 
专利权人 KOREA ADV INST SCI TECHNOLOGY(3)