| 国家/地区 | 韩国(3) 世界知识产权组织(2) |
| IPC部 |
B(3)
C(3)
H(3)
|
| IPC大类 |
H01(3)
B01(2)
C01(2)
C23(2) |
| IPC小类 |
B01J(2)
C01B(2)
C23C(2)
H01B(2) H01L(2) |
| IPC |
B01J019/08(2)
C01B031/02(2)
C23C016/26(2)
H01L021/268(2) |
| 发明人 |
LEE K(3)
|
| 公开年 | 2012(2) |
| 申请年 | 2011(3) |
| 专利权人 |
KOREA ADV INST SCI TECHNOLOGY(3)
|
LEE S, IM H, LEE K, SANG E L, HEON K L, KANG W L, SEUNG S L
LEE K, CHOI I, LEE K J, CHOI I S, JAE L G, SEONG C I
LEE K, CHOI I, CHOI S, HONG B, LEE K J, CHOI I S, CHOI S Y, HONG B H
