| 国家/地区 |
世界知识产权组织(3)
|
| IPC部 |
B(3)
C(3)
H(2)
|
| IPC大类 |
B01(2)
C23(2)
H01(2)
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| IPC小类 | C23C(2) H01L(2) |
| IPC | C23C016/26(2) |
| 发明人 |
LEE K J(3)
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| 公开年 | |
| 申请年 | |
| 专利权人 | KOREA ADV IN.(2) |
CHOI J W, KIM J G, LEE K J, KIM J H, CHOI Y C
LEE K, CHOI I, LEE K J, CHOI I S, JAE L G, SEONG C I
KIM S O, LEE W J, LEE D H, HAN T H, KIM J E, LEE J A, LEE K J
