国家/地区 世界知识产权组织(3)
IPC部 B(3) C(3) H(2)
IPC大类 B01(2) C23(2) H01(2)
IPC小类 C23C(2) H01L(2)
IPC C23C016/26(2)
发明人 LEE K J(3)
公开年
申请年
专利权人 KOREA ADV IN.(2)