国家/地区 美国(6)
IPC部 C(3) G(3) H(3)
IPC大类 C01(2) C09(2) G06(2)
H01(2) H05(2)
IPC小类 C01B(2) G06F(2) H01L(2)
IPC C01B031/04(2)
发明人 LIN C(6)
公开年
申请年 2020(2) 
专利权人 LIN C(6)