国家/地区 日本(3) 美国(3)
IPC部 B(3)
IPC大类 H01(3) B82(2) C01(2)
IPC小类 H01L(3) B82Y(2) C01B(2)
IPC B82Y099/00(2) H01L021/336(2) H01L029/06(2)
H01L029/786(2)
发明人 OKAI M(3)
公开年 2010(2)
申请年
专利权人 OKAI M(3)