国家/地区 日本(3)
IPC部 C(2) H(2)
IPC大类 C01(2) C07(2) C08(2)
H01(2)
IPC小类 C01B(2) C08G(2) H01L(2)
IPC H01L021/336(2) H01L029/786(2) H01L051/05(2)
H01L051/30(2)
发明人 OTOMO M(3)
公开年 2022(2)
申请年 2020(3)
专利权人 FUJITSU LTD(3)