| 国家/地区 | 日本(3) |
| IPC部 | C(2) H(2) |
| IPC大类 | C01(2) H01(2) |
| IPC小类 | C01B(2) H01L(2) |
| IPC | |
| 发明人 |
OTOMO M(3)
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| 公开年 |
2020(3)
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| 申请年 | |
| 专利权人 | FUJITSU LTD(3) |
OTOMO M, HAYASHI H, YAMADA Y
OHTOMO M, SATO S, OTOMO M
