| 国家/地区 | 日本(2) |
| IPC部 | H(2) |
| IPC大类 | H01(2) |
| IPC小类 | H01L(2) |
| IPC |
H01L021/336(2)
H01L029/786(2)
H01L051/05(2)
H01L051/30(2) |
| 发明人 |
OTOMO M(2)
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| 公开年 |
2022(2)
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| 申请年 | 2020(2) |
| 专利权人 | FUJITSU LTD(2) |
OTOMO M, SATO S, HAYASHI H, YAMADA Y
