国家/地区 日本（2） 美国（2）
IPC部 H（2）
IPC大类 H01（2）
IPC小类 H01L（2）
IPC H01L021/3205（2） H01L021/768（2） H01L023/532（2）
发明人 SAKATA A（2）
公开年
申请年
专利权人 WADA M（2）

Semiconductor device has metal interconnect and graphene interconnect that are stacked to one another.

SAKATA A, KITAMURA M, WADA M, KATAGIRI M, YAMAZAKI Y, KAJITA A

Manufacturing method of semiconductor device, involves forming graphene layer on catalyst layer after planarizing exposed surface of catalyst layer by oxidation-treating.

YAMAZAKI Y, KATAGIRI M, SAKAI T, SAKUMA H, KITAMURA M, SAKATA A, WADA M, KAJITA A, MIZUSHIMA I, SAKUMA N