国家/地区 中国(4)
IPC部 C(2) G(2) H(2)
IPC大类 C23(2) G01(2) H01(2)
IPC小类 C23C(2) G01D(2) H01L(2)
IPC C23C016/26(2) G01D005/26(2) H01L031/0216(2)
H01L031/028(2) H01L031/09(2) H01L031/18(2)
发明人 SONG H(4)
公开年 2017(2) 2018(2)
申请年 2017(4) 
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(4)