| 国家/地区 | 中国(4) |
| IPC部 |
C(2)
G(2)
H(2)
|
| IPC大类 |
C23(2)
G01(2)
H01(2)
|
| IPC小类 |
C23C(2)
G01D(2)
H01L(2)
|
| IPC |
C23C016/26(2)
G01D005/26(2)
H01L031/0216(2)
H01L031/028(2) H01L031/09(2) H01L031/18(2) |
| 发明人 |
SONG H(4)
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| 公开年 | 2017(2) 2018(2) |
| 申请年 | 2017(4) |
| 专利权人 |
SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(4)
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LI T, WANG Y, TONG J, ZHANG L, GAO A, ZHANG D, SONG H
LI T, TONG J, WANG Y, ZHANG L, GAO A, ZHANG D, SONG H
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