国家/地区 日本(2)
IPC部 H(2)
IPC大类 H01(2)
IPC小类 H01L(2)
IPC H01L021/28(2) H01L029/417(2) H01L031/08(2)
H01L051/05(2) H01L051/30(2)
发明人 SUDA S(2)
公开年 2022(2)
申请年 2021(2) 
专利权人 FUJITSU LTD(2)