国家/地区 日本（2）
IPC部 H（2）
IPC大类 H01（2） H10（2）
IPC小类 H01L（2） H10K（2）
IPC H01L021/336（2） H01L029/786（2） H10K071/10（2）
H10K085/20（2）
发明人 SUDA S（2）
公开年 2023（2）
申请年 2021（2） 
专利权人 FUJITSU LTD（2）

Manufacturing method of graphene optical sensor, involves forming resist layer on side opposite to metal layer, forming pattern on resist layer by imprint and etching graphene using resist layer on which pattern is formed as mask.

SUDA S

Manufacturing method of electronic apparatus, involves placing graphene layer in contact with liquid film, placing laminated structure on liquid film and vaporizing liquid film to bring graphene layer into contact with second substrate.

SUDA S