国家/地区 中国(4)
IPC部 H(3) C(2)
IPC大类 H01(3) C01(2)
IPC小类 H01L(3) C01B(2)
IPC C01B031/04(2) H01L037/02(2)
发明人 TU F(4)
公开年 2012(3)
申请年 2012(4)
专利权人 UNIV ZHEJIAN.(3)